飞秒激光刻写z切LiNbO3晶体形成通道光波导

摘要：

在z切LiNbO3晶体上进行飞秒激光刻写通道光波导的实验研究.利用光学显微镜研究了光波导的微观结构;在633 nm波长下,端面耦合得到光波导的近场光强分布,波导区为飞秒激光聚焦的区域,TE和TM偏振下都形成了光波导模.研究了激光扫描速度和脉冲能量对刻写质量的影响,结果发现,激光脉冲能量在2.0μJ左右、扫描速度在0.62～2.00 mm/s间时刻写的通道具有较好的波导特性.

关键词：光波导、飞秒激光、LiNbO3晶体

所属期刊栏目：22

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金;曲阜师范大学科研基金

在线出版日期：2011-12-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：897-900