PET柔性衬底上生长绒面ZnO-TCO薄膜及其在薄膜太阳电池中的应用

摘要：

利用低压金属有机化学气相沉积(LP-MOCVD)技术在PET柔性衬底上低温生长绒面结构ZnO-TCO薄膜,DEZn和H2O作为源材料,B2H6作为掺杂剂.详细研究了薄膜掺杂流量对ZnO薄膜微观结构以及光电性能影响.优化获得的PET/ZnO:B薄膜厚约为1 500nm时,绒面结构PET/ZnO薄膜的方块电阻约为10Ω,可见光及近红外范围平均透过率达80%.初步应用于a-Si薄膜电池,电池结构为PET/ZnO-TCO/pin-a-Si/Al,电池的转换效率可达6.3%.

关键词：金属有机化学气相沉积(MOCVD)、PET柔性衬底、ZnO-TCO薄膜、薄膜太阳电池

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家重点基础研究发展计划资助项目2011CB201605;2011CB201606&2011CB201607;天津市应用基础及前沿技术研究计划资助项目09JCYBJC06900;中央高校基本科研业务费专项资金项目65010341

在线出版日期：2011-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：714-717