基于衍射解调技术的半导体温度传感系统研究

摘要：

利用半导体晶体吸收光的波长随温度变化的特性,设计了基于波长调制的新型半导体光纤温度传感系统.使用半导体GaAs材料作为敏感元件,采用了新型反射式结构的传感探头.具有体积小、电绝缘性好和响应快等特点.采用基于CCD衍射解调技术对传感器的反射信号波长进行解调,克服了光强调制解调易受光源抖动和光路扰动影响的缺点.缩短了系统响应时间,扩大了测温范围,提高了系统的测量精度和稳定性.实验分析了不同温度下半导体吸收后的反射光谱,并验证了半导体传感特性.实验结果表明,该系统在0～235℃测温范围内的精度为±0.5℃,分辨率为0.1℃,响应时间小于6 s,长时间稳定性实验的温度最大波动范围为±0.3℃.

关键词：半导体、波长调制、衍射解调、光纤温度传感器、反射式、光谱分析

所属期刊栏目：22

分类号：TN253(光电子技术、激光技术)

资助基金：山东省中青年博士基金31400004020921

在线出版日期：2011-09-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：347-351