pn结对微机械p/n多晶Si热电堆性能的影响
为了研究pn结对微机械p/n多晶Si热电堆性能的影响,设计了两种结构的热电堆器件,采取不同的退火条件,对其结构进行了研究.实验结果表明,工艺过程中形成的pn结会使得热电堆的电阻变大,信号变小,退火条件决定了热电堆器件能否正常工作.因此,在设计热电堆时应该尽量避免pn结,可以采用p-Si/n-Si分离结构予以解决.
pn结、热电堆、横向扩散
21
TN362(半导体技术)
2010-11-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
1176-1180