基于SOI结构的1×8阵列上下载微环滤波器

摘要：

利用193nm深紫外曝光的方法应用CMOS技术,在SOI片上加工制作了1×8阵列上下载微环滤波器,微环半径分别为21.0、20.5、20.0和19.5μm .通过测量直通端的透射光谱,在1 540～1 560 nm的波段上观测到微环阵列谐振波长的透射谱凹陷,对应的消光比均大于15dB,在谐振波长1 559.5 nm处的消光比高达35 dB.在半径为20.5 μm的微环下载端,测得的波长为1 542.6,1 546.7、1 551.0、1 555.2和1 559.3 nm的下载峰,对应的自由谱宽为4.2 nm.

关键词：SOI、1×8阵列上下载微环滤波器、消光比、自由谱宽

所属期刊栏目：21

分类号：TB535+.2(声学工程)

资助基金：国家自然科学基金;国家重点基础研究发展计划（973计划）

在线出版日期：2010-11-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：1125-1128