基于Si纳米线AWG的超紧凑单纤三向滤波器设计

摘要：

采用绝缘层上Si(SOI)纳米线阵列波导光栅(AWG)结构设计了超紧凑光纤到户(FTTH)单纤三向滤波器.二维时域有限差分(2D-FDTD)模拟输出光场表明,3个波长光信号输出光场清晰,实现了1 490 nm和1 550nm 下行波长的解复用和1 310 nm波长的上传复用功能;进一步的输出功率模拟表明,当各波长信号输入功率为1 mW时,1490nm端口输出功率为0.49 mW,1 550 nm端口输出功率为0.49 mW,1310nm上传信号功率为0.55 mW,相应的插入损耗分别约为-3.1、-3.1和-2.6 dB.各端口的串扰光功率可被抑制到-25.2 dBm以下,相应的串扰小于-22.6 dB.采用电子束(EB)光刻结合诱导耦合等离子干法(ICP-RIE)刻蚀,制备出了Si纳米线单纤三向滤波器,经红外OCD成像观察到器件具有3个波长的分波功能.

关键词：光纤到户(FTTH)、三向滤波器、阵列波导光栅(AWG)、绝缘层上硅(SOI)纳米线波导

所属期刊栏目：21

分类号：TN929.11

资助基金：国家自然科学基金;国家高技术研究发展计划（863计划）

在线出版日期：2010-11-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：1115-1118