基于白光干涉无重叠拼接的微结构表征方法

摘要：

针对白光干涉技术(WLI)应用于大范围测量时图像重叠拼接会引入误差并降低测量效率这一缺欠,本文基于纳米测量机(NMM)提出了一种无重叠拼接的白光干涉测试方法.利用NMM的高精度定位能力,扩展了普通白光干涉仪的测量范围,实现了对微结构近4倍于CY2D视场的大范围测量,验证了无重叠图像拼接的可实现性.

关键词：微结构、白光干涉技术(WLI)、无重叠图像拼接、大范围、纳米测量机

所属期刊栏目：21

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：教育部高校博士点基金新教师基金资助项目20070056072;科技部国防科技合作与交流资助项目2008DFA71610;天津市自然科学基金资助项目09JCYBJC05300

在线出版日期：2010-11-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：1048-1052