亚波长结构纳米孔的近场光学测试

摘要：

利用微纳加工工艺制作了亚波长结构纳米孔,应用近场光学显微镜(NFOM)对样品进行了近场光学性质的测试,获得了样品的近场光强分布,测得其近场光斑直径约为120 nm,测试结果证明了环形周期性结构对中心纳米孔的增透和聚焦作用,为环形亚波长结构的纳米孔应用奠定了基础.

关键词：近场光学显微镜(NFOM)、纳米孔、环形结构、近场光斑

所属期刊栏目：21

分类号：O439(光学)

资助基金：苏州市科技发展资助项目ZXG0712

在线出版日期：2010-11-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：963-965