计量型扫描显微镜中大行程纳米定位系统研制

摘要：

为克服现有计量型扫描探针显微镜(SPM)测量范围小、测量速度低的不足,提出了快速共焦显微镜和SPM结合的大量程、高速、可溯源扫描显微镜,实现了一种大行程纳米定位系统,用于显微镜的扫描定位.系统包括伺服电机驱动的两维机械位移台和压电陶瓷(PZT)驱动的三维柔性铰链微动台,具有双伺服环运动控制机制,由双频激光干涉测量系统进行反馈和溯源.为抑制系统噪声,提高定位精度,设计了数字切比雪夫滤波器,将噪声减小85%.在100 mm×100 mm×20μm行程内,系统具有优于5 nm的定位精度和2 nm的分辨率.

关键词：大量程计量型扫描显微镜、纳米定位、两级进给、双伺服环控制、数字滤波

所属期刊栏目：21

分类号：TH741(仪器、仪表)

资助基金：中德科学中心国际合作资助项目GZ404303/2

在线出版日期：2010-11-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：957-962