绝对编码光栅的相位细分

摘要：

针对位移精密测量中提高绝对编码光栅的分辨率,提出一种绝对编码的相位细分方法.由自然码或格雷码的多码道光栅组成编码光栅,其基元码道足高频率的罗奇光栅,解码采用傅里叶变换相位计算方法,通过傅里叶变换、空间频域滤波和逆傅里叶变换得到基元码道的相位分布,利用格雷码的级次信息得到展开的相位分布.利用相位分布的线性性质进行线性拟合,实现高分辨率的相位细分.分析了实验原理井进行了提高分辨率的相位细分实验研究,实验结果表明,采用相位细分的方法,经过标定后可大大提高绝对编码光栅的分辨率和测量精度.

关键词：绝对编码、光栅、相位细分

所属期刊栏目：21

分类号：O432.2;TN386.5(光学)

在线出版日期：2010-04-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：91-95