基于反射光栅的超精密定位系统研究

摘要：

应用光学理论研究了一种μm级位移分辨率的反射型双级光栅测量系统,建立了反射莫尔信号与对应位移的数学模型,通过计算机仿真分析了反射莫尔信号的位移特性,进而设计了一套基于反射光栅的精密定位系统.系统取反射的0次激光莫尔信号为控制信号,由微机控制实现高精度位置检测及超精密自动定位;采用的修正莫尔技术,极大地提高了位置检测信号的灵敏度及定位精度;通过粗定位和精定位相结合的两段式复合定位,实现高速高精度定位.实验结果表明,基于反射光栅的精密定位系统可获得±10 nm的定位精度.

关键词：反射光栅、莫尔信号、修正莫尔技术、精密定位、复合控制

所属期刊栏目：21

分类号：TP274+.5(自动化技术及设备)

资助基金：国家高技术研究发展计划（863计划）;江苏省自然科学基金

在线出版日期：2010-04-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：70-73