刻线边缘表面重构及其边缘粗糙度测量

摘要：

给出了一种边缘粗糙度(LER)三维参数评估的方法.采用原子力显微镜(AFM)测量了刻线单侧边缘形貌,根据AFM的工作机理和测量特点重构边缘表面,采用回归分析方法确定了边缘表面的评价基准面.结合集成电路中光刻工艺的具体需求,提出了能够反映边缘表面形貌特征的三维LER表征参数.结合实例,计算了所提出的部分LER参数,分析了LER标准差参数的测量精度.

关键词：原子力显微镜(AFM)、重构、边缘粗糙度(LER)、三维参数

所属期刊栏目：20

分类号：TG84;TH161;TB92(公差与技术测量及机械量仪)

在线出版日期：2010-03-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1635-1640