单室沉积本征微晶硅薄膜及其在电池中的应用
万方数据知识服务平台
应用市场
我的应用
会员HOT
万方期刊
×

点击收藏,不怕下次找不到~

@万方数据
会员HOT

期刊专题

10.3321/j.issn:1005-0086.2009.05.017

单室沉积本征微晶硅薄膜及其在电池中的应用

引用
为获得单室沉积高效微晶硅(μc-Si)太阳电池,首先采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术制备了不同沉积条件下的本征μc-Si薄膜.通过对材料的结构和电学输运特性的研究,借鉴分室沉积的器件质量级μc-Si材料的经验,选取合适的本征层和P种子层处理B污染的技术,在单室中制备出光电转换效率为6.23%(1 cm2)的单结μc-Si电池.

单室、甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)、本征微晶硅(μc-Si)、太阳电池

20

TN304.1(半导体技术)

国家高技术研究发展计划(863计划);国家重点基础研究发展计划(973计划);国家自然科学基金;国际合作重点项目;新世纪优秀人才支持计划

2009-06-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共5页

637-641

相关文献
评论
暂无封面信息
查看本期封面目录

光电子.激光

1005-0086

12-1182

20

2009,20(5)

相关作者
相关机构

专业内容知识聚合服务平台

国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”

国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304

©天津万方数据有限公司 津ICP备20003920号-1

信息网络传播视听节目许可证 许可证号:0108284

网络出版服务许可证:(总)网出证(京)字096号

违法和不良信息举报电话:4000115888    举报邮箱:problem@wanfangdata.com.cn

举报专区:https://www.12377.cn/

客服邮箱:op@wanfangdata.com.cn