PET柔性衬底上低温沉积ITO薄膜性能的研究

摘要：

采用反应热蒸发的方法,在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)塑料衬底上制备In2O3:Sn(ITO)薄膜.鉴于塑料对温度的敏感性,详细研究了衬底温度对其上沉积的ITO薄膜的微观结构及光电性能的影响,在低温条件下(Ts=140℃)获得电阻率为7.52×10-4Ωcm,可见光范围内的透过率大于80%和结构特性良好的薄膜,并将其应用于PIN型太阳电池的前电极,获得了转换效率为4.41%的柔性非晶硅(a-Si)薄膜太阳电池.

关键词：柔性衬底、PET/ITO薄膜、低温沉积、太阳电池

所属期刊栏目：20

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家重点基础研究发展规划973计划2006CB202602;2006CB202603;天津市科技发展规划资助项目06YFGZGX02100;天津市国家科技计划配套资助项目07QTPTJC29500

在线出版日期：2009-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：628-632