10.3321/j.issn:1005-0086.2009.03.001
4×4热光SOI波导开关阵列
设计并制作了阻塞型和完全无阻塞型4×4热光SOI(silicon-on-insulator)波导开关阵列.开关单元采用了多模干涉耦合器(MMI)-MZI(Mach-Zehnder intederometer)结构的2×2光开关.阻塞型光开关附加损耗为4.8~5.4 dB,串扰为-21.8 dB~-14.5 dB.完全无阻塞型光开关阵列附加损耗为6.6~9.6 dB,串扰为-25.8~-16.8 dB.两者的消光比都在17~25 dB内变化,开关单元功耗小于230 mW.器件的开关时间小于3μs.功耗和开关速度都明显优于SiO2基和聚合物基的开关阵列.
开关阵列、热光、SOI
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TN252(光电子技术、激光技术)
国家高技术研究发展计划(863计划)2002AA3120660
2009-07-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
283-285,289