MIC多晶硅薄膜的光学与电学特性及其优化

摘要：

制备了4种P型掺杂的多晶硅薄膜;固相品化(SPC)、金属诱导(MIC)、准分子激光晶化(ELA)和低压化学气象沉积(LPCVD)多晶硅薄膜,并且研究了它们的光学特性与电学特性.结果发现,MIC多品硅薄膜具有最小的可见光吸收率;ELA和MIC有较小的方块电阻,而SPC和LPCVD方块电阻较大.最后通过对MIC多晶硅薄膜厚度的优化表明,厚度为40 nm的MIC多晶硅薄膜最适合做有机电致发光器件的像素电极.

关键词：多晶硅薄膜电极、光学特性、电学特性、有机电致发光器件

所属期刊栏目：19

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：国家高技术研究发展计划"863"平板显示专项资助项目2004AA303570;国家自然科学基金重点基金资助项目60437030

在线出版日期：2008-12-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1353-1356