沃拉斯顿棱镜可见光区减反射膜研制

摘要：

为了提高镀膜材料和冰洲石基底的附着力以及提高棱镜的透过比,拓宽有效使用带宽,借助于计算机辅助设计方法,设计了高性能多层减反射膜系;选用合适的光学薄膜材料,利用电子束蒸镀,借助于离子源辅助蒸镀,制作了高性能的宽带减反射膜.测试结果表明:e光,o光的平均剩余反射率小于0.5%,有效使用带宽覆盖可见光区;为了改善薄膜和基底间的附着力,采用Al2O3做过渡层.

关键词：薄膜光学、薄膜、沃拉斯顿棱镜、减反射膜、附着力、带宽

所属期刊栏目：19

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：山东省教育厅资助项目J05C04

在线出版日期：2008-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：1143-1144