提高直线度测量分辨率的新方法

摘要：

利用测量光线的多次反射和组合透镜的方法使测量系统的分辨率相对于用探测器直接探测分辨率提高了8倍.实验结果表明:在二维直线度测量范围为±100 μm内,测量系统与Renishaw ML10激光干涉仪比对结果的线性相关度为0.999 7,对应点的标准偏差优于0.1 μm.

关键词：直线度误差、分辨率、激光测量、组合透镜、反射

所属期刊栏目：19

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然基金资助项目50675017;优秀博士生科技创新基金资助项目48003

在线出版日期：2008-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：931-933