简化流程的多晶硅像素电极透反LCD基板的研究

摘要：

鉴于MIC P+-Poly-Si薄膜具有比较好的电学特性和近似半透半反的光学特性,本文提出一种以此用作透反双重功能LCD下电极的LCD基板的设计考虑.并针对MIC多晶硅薄膜在红、绿和蓝三色区的透射率与反射率的差异,采用不同面积的铝反射片巧妙地予以平衡和补偿.校正结果表明在可见光范围内,其红光、绿光和蓝光处的透射率和反射率基本符合白光平衡的要求.用该薄膜多晶硅作LCD像素电极技术制备的AMLCD中,其像素电极既是驱动TFT的漏极的延伸,而铝反射镜又是与TFT的电极连线同层制备.这样,不仅可以制备出性能良好透、反双功能的LCD基板,而且明显简化了AMLCD制备工艺流程.工艺流程的简化将有利降低制造成本.

关键词：LCD、多晶硅薄膜电极、光谱校正、透反LCD、简化流程

所属期刊栏目：19

分类号：TN141.9(真空电子技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划"863"平板显示专项资助项目2004AA303570;国家自然科学基金重点基金资助项目60437030

在线出版日期：2008-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：872-876