基于S曲线光强控制的激光直写接头光滑闭合方法

摘要：

为解决传统的接头闭合方法不能兼顾对接质量和写入效率问题,提出一种基于S曲线光强控制的激光直写接头光滑闭合方法.采用由直线和圆弧组合成的光滑S曲线控制封闭结构接头处的激光强度,利用两条S曲线相加斜率渐变的特性同时实现了消除曝光量分布折角和减缓曝光量变化速率的目的,从而改善闭合区域的曝光量分布,提高接头的闭合质量.实验结果表明,采用S曲线光强控制接头闭合方法可以很好地优化对接区域的曝光量分布,增加有效过渡区域长度,在不降低加工效率的基础上,提高激光直写质量.

关键词：激光直写、S曲线光强控制、闭合、曝光量

所属期刊栏目：19

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目50675052

在线出版日期：2008-07-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：647-651,655