电子散斑干涉载频调制形貌测量技术

摘要：

提出了电子散斑干涉(ESPI)载频调制测量物体形貌的方法.在ESPI中,物体表面的微小偏转可引入包含物体高度信息的载波干涉条纹,具有灵敏度高的优点.用摄像机采集该载波条纹图,利用傅里叶变换法可解调出物体高度的位相信息,从而实现物体的形貌测量.

关键词：电子散斑干涉(ESPI)、形貌测量、载波、傅里叶变换

所属期刊栏目：19

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：山东省科技攻关项目2007GG20004002

在线出版日期：2008-06-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：525-527