表面阳极氧化铝结构对ZnO薄膜探测器的响应增强

摘要：

通过在ZnO外延薄膜上淀积一层Al薄膜,并利用Al膜叉指型光刻胶图案为掩模,可以选择性地将叉指间无光刻胶区域下的Al膜阳极氧化,在ZnO表面形成氧化铝微纳结构,而在光刻胶掩模下未被阳极氧化的Al膜便成为ZnO紫外光电导探测器的叉指电极.用此法制备的非周期性氧化铝结构具有相近的孔大小和间距,形成可以在平面内全方位大角度衍射的光栅矢量.入射光可以被ZnO有阳极氧化铝结构的探测器比无此结构的器件在同等条件下的光响应度提高到了1.8倍.

关键词：ZnO探测器、阳极氧化铝、光栅

所属期刊栏目：19

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：福建省高等学校新世纪优秀人才支持计划;福建省科技计划2007H0032;福建省自然科学基金A0710019

在线出版日期：2008-06-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：459-461