波导多层光卡的模压制作法

摘要：

提出了波导多层光卡的一种模压制作方法.该方法以聚碳酸脂(PC)作为芯层,聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为包层.首先通过传统的光刻过程制作带有信息的金属母板,然后用金属母板在PC表面压印信息坑,再在PC薄膜表面均匀地旋涂PDMS使之形成复合片,最后将多个复合片叠合在一起形成波导多层光卡.通过光源侧向耦合实验观察, 获得的光卡样品的数据图像清晰,表明这是一种可行的多层光卡制作方法.

关键词：波导多层、光卡、模压法、聚二甲基硅氧烷(PDMS)

所属期刊栏目：19

分类号：TP333(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家自然科学基金60377006;上海市科委资助项目036105033

在线出版日期：2008-06-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：447-448