10.3321/j.issn:1005-0086.2007.11.014
超声喷雾法制备大面积太阳电池TCO膜及其工艺研究
对基于超声喷雾热分解工艺制备400mm×400mm大面积太阳电池TCO膜和制备大面积SnO2∶F薄膜工艺作了研究,包括温度、掺杂比、酒精含量、载气流量和喷射距离等工艺参数对薄膜性能的影响.并将实验制得的薄膜用于制备非晶硅薄膜电池,其效率达到了5.96%.
超声喷雾热分解、太阳电池TCO膜、掺氟二氧化锡薄膜、掺杂比
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TM914.4
天津市重点科研项目07JCZDJC013001
2008-01-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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