超声喷雾法制备大面积太阳电池TCO膜及其工艺研究

摘要：

对基于超声喷雾热分解工艺制备400mm×400mm大面积太阳电池TCO膜和制备大面积SnO2∶F薄膜工艺作了研究,包括温度、掺杂比、酒精含量、载气流量和喷射距离等工艺参数对薄膜性能的影响.并将实验制得的薄膜用于制备非晶硅薄膜电池,其效率达到了5.96%.

关键词：超声喷雾热分解、太阳电池TCO膜、掺氟二氧化锡薄膜、掺杂比

所属期刊栏目：18

分类号：TM914.4

资助基金：天津市重点科研项目07JCZDJC013001

在线出版日期：2008-01-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1317-1321