电子束光刻制造软刻蚀用母板的研究

摘要：

使用通用电子束曝光机,采用一种新的电子束微三维加工的重复增量扫描方式进行曝光实验,显影后得到轮廓清晰的微三维结构,以此为制作弹性印章的母模板,经硅烷化后可用来制作弹性印章,得到弹性印章后便可再利用软刻蚀相关技术进行微图形的复制.曝光实验的结论表明采用电子束重复增量扫描方式可用来制作微三维弹性印章的母版.

关键词：电子束光刻、软刻蚀技术、母板、弹性印章、微三维加工

所属期刊栏目：18

分类号：TN305.7(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金90307003;国家自然科学基金10572078;山东省自然科学基金Y2003G03;山东省科技攻关项目022090105

在线出版日期：2007-09-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：788-791