SOI基光学电流传感器的设计与仿真

摘要：

将光纤与微电子机械系统(MEMS)技术相结合,设计了一种新颖的检测50 Hz高压交流电的光学电流传感器(OCS).用ANSYS软件分析了器件的模态、动态响应与热膨胀特性,并通过Matlab软件模拟了器件的工作性能.模拟计算表明:ANSYS与理论公式得到的结果基本一致;传感器的量程为100～3 600 A,对于大电流下的灵敏度可达到0.02 dB/A,温度变化±50 K时传感器相应的测试误差为0.2%.

关键词：微电子机械系统(MEMS)、光学电流传感器(OCS)、绝缘体上的Si(SOI)、扭转微镜、温度补偿

所属期刊栏目：17

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金60572022

在线出版日期：2007-01-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1447-1452