电子束刻蚀分步啁啾相位掩模板的优化

摘要：

掩模板制造过程中采用的是分步啁啾方法,分步间长度容易出现误差,这种接缝误差是引起啁啾光纤光栅(CFBG)时延纹波的系统误差.理论分析了相位掩模板的接缝误差对CFBG时延纹波的影响.分析表明,对长度为140 mm的掩模板采用1.4 mm的步长,接缝误差影响最小.并进行了实验验证.

关键词：光纤通信、啁啾光纤光栅(CFBG)、相位掩模板、分步啁啾、接缝误差、时延纹波

所属期刊栏目：17

分类号：TN305.7(半导体技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2004AA31G200;国家自然科学基金60477017;北京市自然科学基金4052023;教育部霍英东教育基金会高等院校青年教师基金91062;教育部跨世纪优秀人才培养计划

在线出版日期：2007-01-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1409-1412