抽样对CCD非线性的影响研究

摘要：

理论分析了CCD的非线性对傅立叶变换轮廓术(FTP)的影响,推出了基频与本周期的高级频谱以及基频与相邻"频谱岛"的高级频谱分离的条件,由此得出了抽样对CCD的非线性引起的频谱混叠的影响.从理论分析和推导过程看出:抽样条件不满足时,基频与本周期的高级频谱或相邻"频谱岛"中的高级频谱(主要是二级、三级频谱)发生混叠;抽样条件满足时,基频与它们发生分离;增大抽样频率,可以提高测量的精度.实验结果表明了理论分析和推导过程的正确性.

关键词：傅立叶变换轮廓术(FTP)、CCD的非线性、抽样、频谱混叠

所属期刊栏目：17

分类号：TN386.5(半导体技术)

在线出版日期：2007-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1339-1342