位置敏感探测器的动态响应误差分析

摘要：

针对光源连续扫描位置敏感器(PSD)时产生的动态响应误差随扫描条件不同发生的变化,基于一维PSD动态响应模型,建立光源扫描照射下的PSD动态响应误差模型,仿真分析得到了不同扫描起点位置和速度下的PSD动态响应误差分布5个特点,建立了一维PSD动态响应误差的估算模型.通过对4种常用的一维PSD器件进行仿真,验证了估算模型的正确性.

关键词：位置敏感器(PSD)、动态响应误差、起点位置、扫描速度、估算模型

所属期刊栏目：17

分类号：TH703.2(仪器、仪表)

在线出版日期：2007-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1333-1338