一种二维近红外枕形Si基位置敏感探测器研制

摘要：

建立一种新的Si基位置敏感探测器(PSD)光生电流理论模型,导出了PSD的光生电流、光谱灵敏度的表达式;研究了PSD光敏面各层厚度和SiO2薄膜厚度对PSD波长响应灵敏度的影响,认为p层的厚度主要影响PSD在短波段的响应度,而耗尽层对PSD的中长波响应有着很大的影响;设计并制造了二维近红外枕形PSD,对其进行实际测试,其光谱响应峰值波长为920 nm,灵敏度达到0.626 A/W.

关键词：位置敏感探测器(PSD)、近红外、pn结、光谱响应

所属期刊栏目：17

分类号：TH703.2(仪器、仪表)

在线出版日期：2006-11-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1208-1211,1232