光杠杆式nm级微位移激光测量系统的研究

摘要：

提出了一种全新的nm级微位移测量方法,改进了传统光杠杆测微位移的原理,研究开发了一种激光微位移测量系统.该方法可以将微位移量放大102量级以上,测量系统的理论分辨率为4 nm、实测分辨率小于10 nm,实验验证了该系统的可行性和可靠性.该系统适用范围广、灵敏度高、重复性好和结构简单,便于构成微电机系统(MEMS),实现系统微型化及自动化.

关键词：光杠杆、纳米检测、位置敏感探测器(PSD)、微位移

所属期刊栏目：17

分类号：TH744.5(仪器、仪表)

资助基金：浙江大学校科研和教改项目

在线出版日期：2006-09-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：969-973