中心遮拦非球面主镜Seidel像差拟合分析的优化

摘要：

中心遮拦干涉图的圆Zernike多项式拟合存在交叉耦合现象,进而影响到Seidel像差的计算.利用干涉仪数据处理软件提供的Mask功能构造出一系列不同遮拦比的中心遮拦干涉图并计算出其圆Zernike拟合系数,结合自编软件判断出被测非球面镜的中心遮拦比对于5项Seidel像差是否达到阈值,给出了具体的实现流程,并对口径为700 mm、中心遮拦比为0.23的抛物面主镜进行了实验研究.分析结果表明,该优化分析方法简单易行,基于标准干涉数据处理软件,无需编写复杂的数据格式转化和多项式拟合程序,即可得到相对较准确的Seidel像差估计值.

关键词：光学测量、干涉计量、优化分析、Zernike多项式、中心遮拦干涉图、Seidel像差

所属期刊栏目：17

分类号：O435.2(光学)

在线出版日期：2006-06-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：568-572