利用微运动分析仪研究MEMS器件的运动特性

摘要：

介绍了一种计算机控制的微运动分析仪(MMA),用来研究微机电系统(MEMS)中可动部件的运动特性.它采用了2种光学无损测量方法:计算机微视觉方法用于面内运动测量;相移干涉方法用于离面运动测量.这个高度集成的系统包括了高性能成像系统、驱动电路、数据采集和分析软件.MMA利用频闪照明方法冻结器件的快速运动,可以测量1 Hz～10 MHz频率的三维运动特性,达到了nm级分辨力.通过研究一个微加工多晶硅微谐振器的运动特性来说明MMA的强大功能.

关键词：微机电系统(MEMS)、微运动分析仪(MMA)、相移干涉、计算机微视觉、频闪照明、运动特性

所属期刊栏目：17

分类号：TH113.2

资助基金：国家科技攻关项目2004AA404042;中国博士后科学基金

在线出版日期：2006-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：386-391