小机芯离焦检测系统特性的新型测量方法

摘要：

利用聚焦预搜索原理,测量出小机芯离焦检测系统特性的关键参数:离焦偏置、离焦灵敏度和线性区范围.首先将周期电压输入小机芯的聚焦力矩器使小机芯进行聚焦预搜索,同时得到聚焦误差曲线;然后根据聚焦误差曲线计算出小机芯离焦检测系统的特性,利用聚焦误差曲线S状脉冲的出现时刻计算出离焦偏置,利用S状脉冲的斜率和峰峰值得到离焦灵敏度和线性区范围;最后给出测量实例.该方法采用电信号测量小机芯的离焦检测系统特性,无需进一步的聚焦闭环控制以及三维精密工作台,具有设备简单、易于实现等特点.

关键词：离焦检测、小机芯、测量方法

所属期刊栏目：17

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2006-04-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：215-218