用于可见光波段的二元光学混合光学系统的设计与应用

摘要：

研制了一套应用于可见光波段(中心波长632.8 nm)的二元光学谐衍/折混合光学系统.设计要求为:焦距120 mm,入瞳孔径60 mm,F/#数为2,波面峰谷值(P-V)在λ/10以下.因为加工误差等因素,其P-V测得约λ/5,但已满足Strehl判据(＜λ/4),结果验证了二元光学元件(BOEs)在可见光波段应用的可行性.系统中,二元面采用8台阶3次套刻,掩模最小线宽为102 μm.根据测试结果,提出了改进现有系统缺陷的方向和措施.

关键词：二元光学、谐衍射透镜、混合光学系统、波像差

所属期刊栏目：17

分类号：O436(光学)

资助基金：航天支撑技术基金2003-1.01-ZD18

在线出版日期：2006-03-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：45-49