Sb2O3掺杂对ZnO薄膜光吸收性能的影响

摘要：

采用RF磁控溅射技术制备了Sb2O3掺杂ZnO薄膜,通过X射线光电子能谱仪(XPS)、X射线衍射仪(XRD)和紫外-可见光(UV-Vis)分光光度计研究了Sb2O3对ZnO薄膜结构和光吸收性能的影响.结果表明:Sb2O3的掺杂影响了ZnO的原子和电子状态、晶粒的生长方式和光吸收性能.薄膜中Sb以多种形态存在:替位原子和化合物(Sb2O3、Zn7Sb2O14)等,ZnO呈混晶方式生长;随着Sb含量的增加,其引起的晶格畸变和次晶相的含量逐渐增加;掺杂薄膜在远紫外(UVA)波段的吸收显著增强,UV吸收峰变窄,强度增大,吸收边变得陡峭且向短波方向移动达5 nm,在Vis波段的吸收有所增强.

关键词：掺杂ZnO薄膜、Sb2O3、光吸收

所属期刊栏目：17

分类号：TB383(工程材料学)

资助基金：国家重点实验室基金0201

在线出版日期：2006-03-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：41-44