AFM加工的Ti纳米氧化钛线的直线度分析

摘要：

为了与微电子加工工艺相结合,基于Ti氧化线的纳米电子和光电器件需要加工μm级长的Ti氧化线.Ti氧化线的直线度决定了加工的纳米器件的形状,从而影响纳米器件的工作特性.在偏置电压8 V、扫描速度0.1 μm/s的条件下,在7 μm×7 μm的范围内从左到右每隔1 μm加工了6条5 μm长的Ti纳米氧化线,研究了针尖磨损和压电陶瓷扫描器等因素对加工的Ti氧化线的直线度的影响,原子力显微镜(AFM)扫描范围的中间位置加工的Ti氧化线的高度和宽度的一致性与直线度最好.

关键词：原子力显微镜(AFM)针尖诱导阳极氧化、Ti氧化线、直线度

所属期刊栏目：16

分类号：TN103(真空电子技术)

资助基金：中国科学院资助项目60278005;南开大学-天津大学合作项目

在线出版日期：2006-03-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1417-1420