低温热致变色VO2薄膜的制备及应用

摘要：

提出了一种制备低温热致变色VO2新型薄膜材料的工艺方法.在玻璃基底的Si3N4薄膜上溅射沉积VOx薄膜,再经还原性气氛退火,最终得到了nm量级的VO2颗粒.四探针测试电阻温度关系表明,该类材料相变温度已经靠近室温.不同温度下测试的红外透过曲线表明,该材料在相变前后有良好的红外开关特性,能够在智能窗等各类光电产品中获得应用.

关键词：VO2薄膜、相变、离子束溅射、智能窗

所属期刊栏目：16

分类号：TB381;TB43(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金60477040

在线出版日期：2005-12-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1227-1230