激光图形发生器调焦系统设计

摘要：

为提高激光图形发生器的线条制作精度和制作效率,设计了新的调焦系统.调焦采用光学离轴探测原理,调焦辅助光源直接采用半导体激光器(LD)的准直椭圆光束,探测器为二象限光电池,离焦信号则采用除法构建.调焦系统具有过阻尼的二阶系统特征,新嵌入的PID控制器提升了系统的动态性能,并使系统闭环精度达0.2 μm离焦量,同时能产生预期的基于不同离焦量的变线宽图形.

关键词：激光图形发生器、光学调焦、离焦量、动态特性

所属期刊栏目：16

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2005-12-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1202-1205