端面反射对集成光源高频特性的影响及其抑制

摘要：

研究了分布反馈型半导体激光器(DFB-LD)与电吸收(EA)调制器集成光源中调制器端面残余反射对器件高频特性的影响及其消除.针对在DFB-LD/EA集成光源小信号调制响应曲线低频段观察到的异常起伏,测量了DFB-LD的强度噪声谱,比较了不同反向偏压下EA调制器的调制响应.实验结果表明,对集成器件调制响应的干扰主要是来自于EA调制器端面的残余反射而不是微波调制信号的串扰.为了抑制调制器端面的光反射,优化了抗反镀膜工艺,基本消除了调制响应的异常起伏,有效改善了集成器件的高频调制特性.

关键词：集成光源、分布反馈型半导体激光器(DFB-LD)、电吸收(EA)调制器、强度噪声谱、端面镀膜

所属期刊栏目：16

分类号：TN491(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家自然科学基金60244001,60223001,60290084;国家高技术研究发展计划863计划2001AA311192;国家重点基础研究发展计划973计划G2000-03-6601

在线出版日期：2005-12-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1178-1181