负载电阻及其对称性对光位敏器线性及精度的影响

摘要：

通过对一维光位敏器(PSD)等效电路的分析,得出与具体系统无关的光位移普遍表达式.该式表明,负载电阻对于PSD内阻的比值及两边负载电阻的不对称性将极大地影响测量的线性及精确度,而PSD内阻随光源光强有数量级的变化,因此一般的光位移公式在用强光源(如激光)时应加以修正.

关键词：光位敏器(PSD)、精密定位、位移测量

所属期刊栏目：16

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2005-10-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：939-941