顶部平坦化32通道AWG的设计与研制

摘要：

根据优化输入端多模干涉器(MMI)结构设计,研制出32通道50 GHz通道间隔、顶部平坦化的阵列波导光栅(AWG)器件.该器件的采用6 μm×6 μm折射率差为0.75%的Si基SiO2埋型波导结构,阵列波导数为130,罗兰圆半径为9 419.72 μm,相邻阵列波导长度差为128.42 μm.测试结果表明:AWG器件插入损耗(IS)为-5～-8.5 dB,串扰＞-25 dB,3 dB带宽＞0.25 nm.

关键词：阵列波导光栅(AWG)、多模干涉器(MMI)、串扰、平坦化

所属期刊栏目：16

分类号：TN256(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA312261;国家自然科学基金69889701;国家重点基础研究发展计划973计划20000366202

在线出版日期：2005-10-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：887-889