一种激光外差干涉非线性误差新颖测量方法

摘要：

为了精确测量激光外差干涉非线性误差,提出了一种新的激光外差干涉非线性误差测量方法.通过对来自激光外差干涉测量臂的输出信号直接进行数据采集和频谱分析,分离出非线性误差的一次谐波和二次谐波分量,得到非线性误差相对测量信号之间的幅度比值;通过建立激光外差干涉非线性误差与幅度比值之间的模型,实现对激光外差干涉非线性误差的精确测量.实验结果表明,应用非线性幅度模型和频谱分析的方法能够精确地测量激光外差干涉非线性误差,相对其它测量方法具有结构简单、易于实现、避免传感器引入非线性误差等优点.

关键词：激光外差干涉、非线性误差、频谱分析、幅度模型、一次谐波、二次谐波

所属期刊栏目：16

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金50275041

在线出版日期：2005-09-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：817-820