Mirau相移干涉术中的中心遮拦研究

摘要：

Mirau相移干涉中的参考面对光路造成了中心遮拦.理论分析了被测面视场、Strehl判据、分辨本领、调制传递函数MTF以及残余像差和中心遮拦的关系,得到参考面的允许直径0.8～1.28 mm.设计了参考面直径D＝1.0 mm的Mirau干涉物镜,其中心遮拦ε＝0.129,和没有中心遮拦的系统相比,MTF变化的幅度不超过6%,允许的残余像差为0.978.

关键词：Mirau相移干涉、中心遮拦、调制传递函数MTF、残余像差

所属期刊栏目：15

分类号：TN247;TH74(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金60377031;国家重点基础研究发展计划973计划2003CB314907;高等学校优秀青年教师教学科研奖励计划;天津市131人才引进基金

在线出版日期：2004-12-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1218-1221