利用曲面计算全息图进行凸面非球面检测

摘要：

基于曲面计算全息方法,设计了检测大口径凸面非球面的干涉仪,其精度可优于λ/30(P-V值).研究了利用激光直写设备在曲面基底上制作全息图的方法,由于全息图的线宽变化较大,采用刻线的两边精确写入、中间螺旋线写入快速填充的策略,有效提高了写入精度和效率.在口径110 mm、曲率半径500 mm的曲面基底上,制作出了全息元件.利用自制的干涉装置,对用金刚石车床车削成的、口径100 mm的凸面非球面进行了检测,非球面的精度为0.8 λ(P-V值),检测结果与车床的精度吻合很好.

关键词：曲面计算全息图、凸面非球面、非球面检测、激光直写

所属期刊栏目：15

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金60078006

在线出版日期：2004-10-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1088-1090