负载电阻及光敏层电阻率对一维PSD的影响

摘要：

分析了光敏层电阻率的非均匀分布及负载电阻不为零情况下对一维位置敏感探测器(PSD)位置误差的影响.分析结果表明,光敏层电阻率的非均匀分布对一维PSD的边缘位置误差影响很小,而负载电阻则是影响边缘误差的主要因素.减小负载电阻能够减小PSD的边缘误差.

关键词：位置敏感探测器(PSD)、电阻率、负载电阻、误差

所属期刊栏目：15

分类号：TN379(半导体技术)

在线出版日期：2004-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：165-167