基于模拟退火的软X射线多层膜反射镜设计

摘要：

基于模拟退火(SA)算法,对软x射线短波段中的几个波长的多层膜反射镜进行了优化设计,获得了它们的光学参数,包括多层膜反射镜的最佳周期厚度、最佳厚度比和峰值反射率,进而制作多层膜反射镜并在北京同步辐射装置上进行了反射率的实际测量.测量结果表明,该反射镜具有实用的反射率.这表明,SA方法适用于软x射线短波段多层膜反射镜的优化设计.

关键词：模拟退火(SA)、反射率、多层膜反射镜、软x射线

所属期刊栏目：15

分类号：O484.8(固体物理学)

在线出版日期：2004-02-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：37-40