基于参数自适应PID控制算法激光准直系统的研制

摘要：

提出并研制了一种基于参数自适应比例、积分和微分(PID)控制算法的激光准直控制系统,从根本上解决了传统PID控制方法的存在的精度低、实时性差等不足.在50 min内,x向(水平方向)的角漂移量为22 nm/150 mm,y向(垂直方向)的角漂移量为15 nm/150 nm;x向的平漂移量为26 nm/150 nm,y向平漂移量为28 nm/150 nm.实验证明:采用参数自适应PID控制算法,激光准直系统的准值精度和鲁棒性得到显著提高.

关键词：激光准直、自适应、比例、积分和微分(PID)控制算法、nm级控制

所属期刊栏目：14

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-02-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1328-1331,1343