10.3321/j.issn:1005-0086.2003.12.012
微表面形貌检测中Mirau干涉物镜的优化设计
提出了实用的Mirau干涉头结构,降低了制作工艺要求.物镜为长工作距物镜,由光焦度较大的正光组和光焦度较小的负光组组成.设计了5种不同透射/反射率的分束板,平衡了干涉光强.Mirau干涉物镜的NA=0.3,β=-10,工作距5 mm,横向分辨率Δx≥0.887 μm,景深Δ=±2.956 μm.
Mirau干涉物镜、长工作距物镜、像差校正、光强平衡
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TH74(仪器、仪表)
天津市"131"人才工程第一层次人选资助项目;天津市自然科学基金023602411
2004-02-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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1292-1295