激光多普勒效应回转体表面轮廓测量系统

摘要：

提出一种基于激光多普勒效应的回转体表面轮廓测量系统.散射光的多普勒信号强度、信噪比是测量的重要参量,为此研究了多普勒差动方法、锁相环(PLL)频率跟踪器等技术,设计出差动纵向多普勒光路、频率跟踪特性良好的锁相环电路、精密旋转进给系统.实现了测量分辨率10 μm,最大相对误差1.0 %.

关键词：多普勒效应、回转体、轮廓测量、锁相环(PLL)频率跟踪器

所属期刊栏目：14

分类号：TB96;TN247(计量学)

在线出版日期：2003-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：977-980